| 儀器代碼 |
|
F-02 |
| 中文名稱 |
|
光學監控式電子束鍍膜系統 |
| 英文名稱 |
|
E-Beam |
| 儀器經費來源 |
|
|
| 購入日期 |
|
2003/12/31 |
| 儀器位置 |
|
舊生科大樓1樓潔淨室 (地圖) |
| 儀器狀態 |
|
正常使用中 |
| 負責教授 |
|
武東星 |
| 聯絡電話 |
|
22840500#707 |
| E-mail |
|
flhsu@dragon.nchu.edu.tw |
| 儀器管理員 |
|
許鳳玲
|
| |
|
1. 營利事業(校外)：每小時基本收費7500 元，不足1小時以1小時計算。
2. 非營利事業(校外)：每小時基本收費5000元，不足1小時以1小時計算。
3. 校內單位：每小時基本收費3000元，不足1小時以1小時計算。
(上述時間包含sample loading、vacuum pumping、coating等)。
|
|
