本儀器為德國蔡司(Zeiss) UltraPlus系列之場發射掃描式電子顯微鏡，適用觀察於以下樣品：

導體樣品(含磁性材料)
各式金屬/半導體/奈米碳管/導電高分子之塊材或奈米材料

非導體樣品(含生物性樣品)
各類高分子材料/玻璃/紡織品/生物樣品

解析度：
1.0 nm at 15.0 KV at WD = 2 mm
1.7 nm at 1.0 KV at WD = 2 mm
4.0 nm at 0.1 KV at WD = 2 mm

儀器特點：
1.可以低加速電壓(最低為0.1 KV)條件下直接拍攝非導體樣品。
2.具備高電流高景深模式，以及多重偵測器與能量散射分佈儀(EDS)可作元素之定性定量分析。